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Pulsed laser deposition of thin carbon films in a neutral gas background
Indexado
WoS WOS:000319116300006
Scopus SCOPUS_ID:84878233414
DOI 10.1088/0022-3727/46/21/215202
Año 2013
Tipo artículo de investigación

Citas Totales

Autores Afiliación Chile

Instituciones Chile

% Participación
Internacional

Autores
Afiliación Extranjera

Instituciones
Extranjeras


Abstract



We studied carbon film deposition using a laser-produced plasma, in argon and helium background gas, at pressures between 0.5 and 700 mTorr. A Nd : YAG, 370 mJ, 3.5 ns, at 1.06 mu m, operating at 10 Hz, with a fluence of 6.7 J cm(-2) was used. The laser plasma was characterized using space resolved OES and a fast response Faraday cup. The resulting carbon films were analysed using AFM, Raman spectroscopy, XPS and SIMS. The structural properties of the carbon films were found to be strongly correlated with the laser carbon plasma composition. Films with a relatively high content of sp(3), characteristic of DLC, were obtained at pressures below 200 mTorr. For these conditions the characteristic carbon ion energies in the expanding laser plasma were of the order of 100 eV. At higher pressures sp(2) bonds, associated with amorphous carbon, were dominant, which coincides with a high content of C-2 molecules in the laser plasma, and a characteristic carbon ion energy around 20 eV.

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Disciplinas de Investigación



WOS
Physics, Applied
Scopus
Electronic, Optical And Magnetic Materials
Surfaces, Coatings And Films
Condensed Matter Physics
Acoustics And Ultrasonics
SciELO
Sin Disciplinas

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Publicaciones WoS (Ediciones: ISSHP, ISTP, AHCI, SSCI, SCI), Scopus, SciELO Chile.

Colaboración Institucional



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Autores - Afiliación



Ord. Autor Género Institución - País
1 GUZMAN-QUIMBAYO, FANNY Mujer Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
2 FAVRE-DOMINGUEZ, MARIO BENJAMIN Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
3 Ruiz, H. M. - Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
4 HEVIA-ZAMORA, SAMUEL ALEJANDRO Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
5 CABALLERO-BENDIXSEN, LUIS SEBASTIAN Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
6 WYNDHAM-HODDER, EDMUNDO SYDENHAM Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
7 Bhuyan, Heman - Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
8 FLORES-URIBE, JUAN MANUEL Hombre Universidad de Chile - Chile
9 Mandl, S. Hombre Leibniz Inst Oberflachenmodifizierung - Alemania
Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig eV - Alemania

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Origen de Citas Identificadas



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Citas No-identificadas: 80.0 %

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Citas Identificadas: 20.0 %
Citas No-identificadas: 80.0 %

Financiamiento



Fuente
CONICYT
Fondecyt Project
CONICYT/DAAD collaboration project

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Agradecimientos



Agradecimiento
This work was funded by the FONDECYT project 1110380 and a CONICYT/DAAD collaboration project. F Guzman acknowledges a doctoral studies scholarship from CONICYT.

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