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Estimation of residual stresses in perovskite films for capacitor applications
Indexado
WoS WOS:000424320600004
Scopus SCOPUS_ID:85044674582
DOI 10.1016/J.TSF.2018.01.011
Año 2018
Tipo artículo de investigación

Citas Totales

Autores Afiliación Chile

Instituciones Chile

% Participación
Internacional

Autores
Afiliación Extranjera

Instituciones
Extranjeras


Abstract



The performance of perovskite films in capacitor devices is strongly determined by the level of residual stresses developed after their fabrication at high temperatures. Quantification of these stresses by X-ray diffraction is not straightforward in perovskite films due to the complexity of the crystalline structure and a lack of effective elastic diffraction constants. In this work we apply a simple and accurate method to estimate the residual stresses developed in Pb(Nb, Zr, Ti)O-3 perovskite films grown by metal-organic chemical vapor deposition on the Pt electrode. The stress was directly measured in the Pt bottom electrode film before and after the deposition of the perovskite film and compared with intrinsic and thermal stresses calculations. Our results reveal in-plane tensile stresses of 676(8) MPa developed in the Pt electrode, which mainly originate from the relative thermal contraction between Pb(Nb, Zr, Ti)O-3 and Pt as well as the cubic-tetragonal perovskite phase transformation after deposition. This methodology is straightforward and highlights the possibility to perform systematic studying for tailoring stress conditions and improving the performance of perovskite films for capacitor applications.

Revista



Revista ISSN
Thin Solid Films 0040-6090

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Disciplinas de Investigación



WOS
Physics, Condensed Matter
Physics, Applied
Materials Science, Multidisciplinary
Materials Science, Coatings & Films
Scopus
Materials Chemistry
Electronic, Optical And Magnetic Materials
Surfaces, Coatings And Films
Metals And Alloys
Surfaces And Interfaces
SciELO
Sin Disciplinas

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Publicaciones WoS (Ediciones: ISSHP, ISTP, AHCI, SSCI, SCI), Scopus, SciELO Chile.

Colaboración Institucional



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Autores - Afiliación



Ord. Autor Género Institución - País
1 Ramos Moore, Esteban Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
UNIV SAARLAND - Alemania
Universität des Saarlandes - Alemania
2 Leibenguth, P. - UNIV SAARLAND - Alemania
Plansee SE - Austria
Universität des Saarlandes - Alemania
Plansee AG - Austria
3 Slawik, S. Hombre UNIV SAARLAND - Alemania
Universität des Saarlandes - Alemania
4 Coelho, Rodrigo Santiago Hombre SENAI CIMATEC - Brasil
5 Horwat, D. - Univ Lorraine - Francia
Université de Lorraine - Francia
6 Migot, S. - Univ Lorraine - Francia
Université de Lorraine - Francia
7 Lechthaler, B. - UNIV SAARLAND - Alemania
Universität des Saarlandes - Alemania
8 Mücklich, Frank Hombre UNIV SAARLAND - Alemania
Universität des Saarlandes - Alemania

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Financiamiento



Fuente
CONICYT-Chile
Fondo Nacional de Desarrollo Científico y Tecnológico
Comisión Nacional de Investigación Científica y Tecnológica
European Commission
Deutscher Akademischer Austauschdienst
Comisión Nacional de Investigación Científica y Tecnológica
Fondo Nacional de Desarrollo Científico y Tecnológico
Comision Nacional de Investigacion Cientifica y Tecnologica (CONICYT-Chile)
EFRE Funds of the European Commission
Deutscher Akademischer Austauschdienst (DAAD) scholarship
Deutscher Akademischer Austauschdienst France

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Agradecimientos



Agradecimiento
E. Ramos-Moore thanks the help of Christoph Genzel, Manuela Klaus, Donovan Diaz, Nicolas Souza, Sebastian Suarez and Agustina Guitar in the elaboration of this work. The authors thank the financial support of Comision Nacional de Investigacion Cientifica y Tecnologica (CONICYT-Chile) through the Project FONDECYT 1150357, Deutscher Akademischer Austauschdienst (DAAD) scholarship A/10/82618 and EFRE Funds of the European Commission for support of activities within project AME-Lab (C/4-EFRE-13/2009/Br).
E. Ramos-Moore thanks the help of Christoph Genzel, Manuela Klaus, Donovan Díaz, Nicolás Souza, Sebastián Suárez and Agustina Guitar in the elaboration of this work. The authors thank the financial support of Comisión Nacional de Investigación Científica y Tecnológica (CONICYT-Chile) through the Project FONDECYT 1150357, Deutscher Akademischer Austauschdienst (DAAD) scholarship A/10/82618 and EFRE Funds of the European Commission for support of activities within project AME-Lab (C/4-EFRE-13/2009/Br).

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