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Colección SciELO Chile

Diagnostic of capacitively coupled radio frequency plasma by homogeneous discharge model

Indexado

WoS	WOS:000302851100009
Scopus	SCOPUS_ID:84857829029

DOI

10.1016/J.PHYSLETA.2012.03.004

Año

2012

Tipo

artículo de investigación

Citas Totales

Autores Afiliación Chile

Instituciones Chile

% Participación
Internacional

Autores
Afiliación Extranjera

Instituciones
Extranjeras

Abstract

In this Letter, a plasma diagnostic technique is reported to evaluate the plasma parameters of capacitively coupled radio frequency argon plasma on the basis of homogeneous discharge model. The technique is implemented for wide range of operating pressure ranging from few mTorrs to atmospheric pressure. Considerable dependence of plasma parameters on the plasma series resonance effect and the drift velocity of the electron for low pressure plasma and on the ion density for atmospheric pressure plasma jet were observed. (C) 2012 Elsevier B.V. All rights reserved.

Revista

Revista	ISSN
Physics Letters A	0375-9601

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Disciplinas de Investigación

WOS
Physics, Multidisciplinary

Scopus
Physics And Astronomy (All)

SciELO
Sin Disciplinas

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Publicaciones WoS (Ediciones: ISSHP, ISTP, AHCI, SSCI, SCI), Scopus, SciELO Chile.

Colaboración Institucional

Muestra la distribución de colaboración, tanto nacional como extranjera, generada en esta publicación.

Autores - Afiliación

Ord.	Autor	Género	Institución - País
1	Bora, Biswajit	Hombre	Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
2	Bhuyan, Heman	-	Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
3	FAVRE-DOMINGUEZ, MARIO BENJAMIN	Hombre	Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
4	WYNDHAM-HODDER, EDMUNDO SYDENHAM	Hombre	Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
5	CHUAQUI-KETTLUN, HERNAN HUMBERTO	-	Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile

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Origen de Citas Identificadas

Muestra la distribución de países cuyos autores citan a la publicación consultada.

Citas identificadas: Las citas provienen de documentos incluidos en la base de datos de DATACIENCIA

Citas Identificadas: 53.85 %
Citas No-identificadas: 46.15 %

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