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Pulsed laser deposition of carbon films in low pressure neutral gas background
Indexado
WoS WOS:000307752700013
Scopus SCOPUS_ID:84863618359
DOI 10.1088/1742-6596/370/1/012013
Año 2012
Tipo proceedings paper

Citas Totales

Autores Afiliación Chile

Instituciones Chile

% Participación
Internacional

Autores
Afiliación Extranjera

Instituciones
Extranjeras


Abstract



We have investigated Pulsed Laser Deposition (PLD) of thin carbon films using a graphite target, in a low pressure Argon gas background. Raman spectroscopy based structural analysis of the films shows a correlation between films properties and pressure of the buffer gas background. The morphology of the resulting thin films was characterized with Raman spectroscopy. Time resolved Optical Emission Spectroscopy (OES) observations indicate that, at the substrate position, and for background pressures above 80 mTorr, the dominant species in the expanding carbon plasma are C-2 molecules. This is also consistent with Faraday cup observations, which show a strong decrease in the carbon ions content, as the pressure is increased. Our main result is the observation of a sharp transition in the film morphology, around 300 mTorr, from Diamond like Carbon (DLC) at lower pressures, to amorphous Carbon at higher pressures.

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Publicaciones WoS (Ediciones: ISSHP, ISTP, AHCI, SSCI, SCI), Scopus, SciELO Chile.

Colaboración Institucional



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Autores - Afiliación



Ord. Autor Género Institución - País
1 GUZMAN-QUIMBAYO, FANNY Mujer Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
2 Ruiz, H. M. - Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
3 FAVRE-DOMINGUEZ, MARIO BENJAMIN Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
4 HEVIA-ZAMORA, SAMUEL ALEJANDRO Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
5 Bhuyan, Heman - Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
6 CHUAQUI-KETTLUN, HERNAN HUMBERTO - Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
7 WYNDHAM-HODDER, EDMUNDO SYDENHAM Hombre Pontificia Universidad Católica de Chile - Chile
8 FLORES-GARCIA, MARCOS ALEXIS Hombre Universidad de Chile - Chile
9 Bilbao, L -
10 Minotti, F -
11 Kelly, H -

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Financiamiento



Fuente
FONDECYT
CONICYT
MECESUP

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Agradecimientos



Agradecimiento
This work has been funded by FONDECYT project 1110380. F. Guzman and H. M. Ruiz acknowledge doctoral studies scholarships from CONICYT and MECESUP, respectively.

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